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原子层沉积系统

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原子层沉积(ALD)是一种用于从物质的气相沉积各种薄膜材料的过程。亚博网站下载该系统包括与衬底相互作用的气体前驱体的交替脉冲。首先,将前驱体泵入真空室,使其与基材表面完全反应,从而刚好铺下一层单层。层沉积后,用惰性载气清除腔室以去除任何未反应的前驱体或副产品。然后一个反反应物前驱体脉冲进入腔室创造另一层。然后循环这个过程,直到达到合适的薄膜密度。

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