声学显微镜

扫描声显微镜(SAM)是一种用于检测腔体和设备的非侵入性和非破坏性技术。SAM之所以有用，是因为它能够检测厚度小于100纳米(亚微米水平)的材料的各种层或分层。要用SAM分析的样品被淹没在液体介质中，这样超声波就可以通过。通过向介质发送脉冲，超声换能器接收并将界面上反射的声波转换为可测量的电磁脉冲，并以图像的形式显示出来。