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光学非接触式轮廓仪和测量

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光学非接触式轮廓仪是一种干涉显微镜,用于精确测量给定测试材料表面的三维高度变化。光学轮廓仪操纵进入显微镜的光的波动特性,并比较被测物体和一个已知平面度的参考物体之间的路径差异。一旦光线进入光学轮廓仪,光束就会分裂,其中一半的光束反射到感兴趣物体的显微镜物镜的焦平面,另一半则从参考镜反射。然后测量这两束光之间的干涉,以形成一幅干涉图,从中可以计算出高度。

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