扫描透射电子显微镜(STEM)

扫描透射电子显微镜(STEM)结合了透射电子显微镜(TEM)和扫描电子显微镜(SEM)的功能。和TEM一样，STEM也分析通过非常薄的样品传输的电子束。和扫描电子显微镜一样，STEM过程以矩形模式扫描穿过样品的聚焦电子束。

电子和样品之间的相互作用产生一个信号，这个信号被用来创建虚像。

STEM涉及到对TEM中无法进行空间关联的其他信号的分析，如散射束电子、独特的x射线和电子能量损失。STEM也有比SEM更好的空间分辨率。