离子束显微镜

离子束显微镜或聚焦的离子束显微镜（FIB）使用一束离子束图像具有亚微米计的细节水平的样品。聚焦的离子束可以通过“溅射过程”直接更改或“磨”样品外部，并且可以用纳米精度来操纵这种铣削。通过仔细操纵离子束的能量和功率，可以进行非常精确的纳米缓存以产生微小的特征或摆脱不需要的材料。

当离子束显微镜与扫描电子显微镜（SEM）耦合时，它变得更加有用。在双光束设备中，电子和离子束在靠近样品表面的一个复合点相交，从而可以立即对fib麦片样品进行高分辨率的SEM成像。