半导体/晶片计量工具

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在半导体业界，对性价比更高的集成电路(IC)的需求持续不断。晶圆计量工具用于设计和制造集成电路，通过仔细控制薄膜特性、线宽和潜在缺陷水平，以优化这些器件的制造工艺。与晶圆检测功能相结合的计量工具能够确保它们针对的是正在生产的半导体器件的物理和电气特性。晶圆计量能够专门识别表面颗粒、图案缺陷和其他可能对这些器件的性能造成不利影响的条件。yabo214

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