二次离子质谱（SIMS）

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二次离子质谱仪（SIMS）使用定向的正面或负“伯”离子流分析固体表面和薄膜，以产生“二次”离子，然后被引导到能够确定样品的分子构成的质谱仪中。主离子束的界面具有样品供应足够的能量以电离许多元素。如果主光束由带正电的离子组成，所得电离产生负离子;负离子的主束通常导致正离子的产生。虽然通过相互作用从样品取出的大多数原子和分子是中性的，但其中一部分是电离的。然后将这些离子加速，浓缩并通过质谱仪检查。

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