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这微划痕测试仪MST³广泛用于表征薄膜和涂层的实际粘合失效，典型厚度低于5μm。微划痕测试仪也用于分析有机和无机涂层以及软硬涂层。
应用包括薄和多层CVD，PVD，PECVD，光致抗蚀剂，漆，涂料和其他几种类型的薄膜。研究领域和行业利用这种微电子，光学涂层，保护和装饰表面涂层的仪器。基板可以是柔软的或硬，包括玻璃，半导体，折射和有机材料。亚博网站下载
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