Wafer三百
百分百Wafer方向求解
利用工厂自动化潜力 前沿X-Ray分片技术Wafer XRD300表示超快高精度计量模块,设计面向晶体和瓦法几何控制
图像感知马尔文剖析有限公司
概述
引入Wafer XRD300:高速X-Ray分片模块定制300毫米长幅制作,提供关键参数数据,如晶面向和几何特征,包括节点、平面等设计无缝融入进程线
特征与福利
超高速扫描技术
使用法只需单旋转扫描收集所有基本数据,就能在一个极短时间测量中全面精度水晶定位-典型范围几秒内
全自动化处理排序
Wafer XRD300设计优化吞吐量和生产率无缝整合处理和排序自动化使其成为进程强效高效补充
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易连通性
强健自动化Wafer XRD300无缝融入新进程或现有进程,提供与MES兼容性,如SECS/GEM
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高精度深度深入观察
亚博网站下载获取无与伦比的洞察Wafer XRD300关键测量材料,包括:
- 晶体定向
- 方位、深度和开角
- 直径
- 扁平位置和长度
- 额外传感器应请求提供
标准偏移度(例如Si100)Azimuthal-scan通常下降 <0.003度
强健多姿
半导体研究演化 测量各种样本比以往任何时候都重要亚博网站下载Wafer XRD300容易快速分析数以百计的材料,包括:
- 西城
- 西元
- AlN
- GAs
- Quartz区域
- Al2O级3(apphire)
- LINBO3
- BBO
密钥应用
制作处理
wafer XRD300位前列自动化进步带来的变换,为以前所未有的速度管理定向测量提供实用和强效解决方案
质量控制
Wafer XRD300提供不匹配效率多功能生产质量控制,10秒内交付高精度结果定制为300毫米生产环境时,它优于自定义自动化搭建
规范化
出处:马尔文剖析有限公司
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| 传输输出 |
万+每月Wafer |
| 瓦斐几何 |
请求后 |
| 倾斜精度 |
003 |
| XRD轴对notch/ |
0.03度 |