前沿微电子制造需要超纯化化学物,这些化学物有高渗透度并坚持目标粒度20纳米或小
PMS Chem20化学粒子计数器全球最先进传感器
严格测试分析化学分布和包装系统证明PMSChem20传感器具有前所未有20纳米敏感度,通过检测粒子高浓度和提供高端统计数据优于竞争产品。
Chem 20化学粒子计数器是一个极值工具,增强企业和工序工程师能力,快速识别并辨别潜在化学粒子源
福利类
- yabo214实时检测20NMPSL和9NMAO粒子
- yabo214识别粒子阻抗收成与竞争技术不匹配的辉煌
- 方便在线离线20nm测试
- 提高化工系统效率从加载码头到进程点
- Swift对粒子偏差的反应远早于表面扫描或生成数据无障碍化
- 通过精炼样本人口统计提高流程控制精度
特征学
- 配上机内化学流计方便样本流调整
- yabo214使用高级激光光学检测器检测20纳米聚合粒子和9纳米金属粒子
- 第一个粒子计数器专门设计出优于低高反射索引化学环境,提高整体性能
- 化学20传感器使用低折射指数
- 搭乘Chem20-HI传感器,优化使用高指数化学物,如硫酸
- 内置泄漏检测能力,在发生内部化学泄漏时发布报警
- 内含低流检测器和报警系统以维护一致性数据收集
- 使用针头采样SLS20针器液采样
- 包括泡检测器提高数据质量并保护传感器
- 特征显示本地数据方便监控
- 提供两种视图模式优化仪表操作,同时满足高度污染和极端清洁应用,拓展产品多功能性
- 软通信系统适应遗留数据采集系统
应用
- 实时粒子监控化学分布系统
- 监督化学打包操作
- 点监控
- 质量保证和化学属性验证
- 化学滤波性能和效率评估
- 评价化学处理组件性能
规范化
出处:粒子测量系统
| . |
. |
. |
| 大小范围 |
20NMPSL和9NMA最小检测限 |
| 通道 |
4 |
| 通道大小 |
20,50,70,100nm
20,30,50,70nm |
| 流速率ml/min |
35ml/min |
| 零计数 |
<百分数/升 |
最大值
集中度一号 |
高分辨率模式
2500P/ml20NM1000P/mlNM |
高集中模式
500 000P/ml > 20Nm10,000p/ml > 100nm |
| 样本温度 |
59-104摄氏度(15-40摄氏度) |
| 最大压强 |
75psi最大 |
| 亚博网站下载湿面材料 |
PFA、PTFE、Saphire、Kel-F®卡列兹®4079 |
| 外部表面 |
316L不锈钢附加 |
外部维
h) |
20.0x16.8x11.1 |
| 权值 |
64.5lb(29.2kg) |
| 电源 |
100-240VAC |
| 激光分类 |
i级符合US21CFR1040.10和EN60825-1
内部封装四级激光按EN60825-1使用 |
| 通信 |
Ethernet协议4-20mA5输出4尺寸通道1传感器状态)、RS-232(仅建立诊断程序) |
| 状态指示器 |
LCD显示器和一(1)三色LED表示操作通信状态和激光样流或内部泄漏状态 |
| 校准 |
yabo214传感器使用纯水中的PSL粒子校准亚博网站下载使用的材料可追踪到国家标准技术学院和/或日工标准 |
| 环境 |
温度:64-82摄氏度(18-28摄氏度)
湿度:5-90%非嵌入
传感器必须安装在一个稳定温度控制条件环境
室内专用污染程度2
与超机器或车辆振荡隔离
超压二类
普通保护(不受有害水分侵扰保护)
级I环境(安全性需要从主电源到产品输入的电磁地面) |
一号不足10%巧合损耗 测量最大推荐富集度