PlasmaPro PTIQ是最新的智能软件解决方案和Atomfab处理设备。app亚博体育
突出了
- 优化系统和过程性能
- 用户友好的设计
- 优秀的响应系统控制水平
智能软件。强大的解决方案
PTIQ软件——牛津仪器等离子体技术
视频来源:牛津仪器等离子体技术
系统利用等离子体技术,最近PTIQ智能软件解决方案。它提供了一个高程度的系统管理,加上有效的调度和智能报表功能,打开新的机会以提高加工效率和灵活的工作流。
有很多层PTIQ软件可以满足设备要求,提高系统和过程性能在实验室和工厂。
使用PTIQ的好处
用户友好的设计
- 为最优用户生产力,“一瞥”的设计使信息和控制更容易用更少的点击。
- 更好地理解系统架构,流程工程师可以描述系统组件在高级别上,或维修工程师可以使用虚拟仪器功能图的风格。
- 与高对比度颜色方案用于典型的黄灯制造设置。
- 设计时考虑到触摸屏的使用,要求的用户。
PTIQ屏幕布局。图片来源:牛津仪器等离子体技术
操作准备和准确性
- 视觉线索显示系统的准备程序帮助用户识别问题在投入使用之前,提高流程效率。他们支持的用户所有的技能水平和来自内部最佳实践的理解。
- 比较结果的配方,确保运行可靠,重复过程随着时间的推移,事件之前/之后,例如,清洁和加速过程的发展。
- 毫秒精度和1000点为改进数据日志记录审讯。
灵活性和可靠性
- 操作员和工程师可以更快地启动和运行,因为遵守95年半人类接口标准给了他们一个熟悉的经验。
- 可定制的错误,多用户操作在任何洁净室环境。
图片来源:牛津仪器等离子体技术
图片来源:牛津仪器等离子体技术
图片来源:牛津仪器等离子体技术
特性
食谱
- 食谱包括标准检查,如泄漏率和MFC填充率,使验证的性能在晶圆处理,因此自动化的干预措施以提高效率
- 食谱可编辑格式作为错误的过程数据表和易用性
- 食谱在私密模式下增加了在多用户环境中安全
- 运行都与特定的配方版本改进的可追溯性
- 公差值现在可以定义每一步,使更精确控制用户的过程
权限和调度
- 设备操作与用户帐户的安全使用
- 配置选项(例如,压力单位,批处理选项)与用户帐户来调整用户体验增加生产力
- 为提高生产率,鲁棒调度允许重叠与晶圆传输室操作(包括晶片升力、静电夹紧和圆片预热)
软件的选择
秒/宝石工厂主机连接
一个软件组件链接牛津工厂设备主机控制器通过秒/宝石接口用于自动化半导体制造设备app亚博体育。
AnalytIQs
的目的PTIQ AnalytIQs是增加系统正常运行时间,同时能够更好的理解和解释的过程记录数据通过统计数据分析。所有系统的跟踪和分析指标,他们进一步加强PTIQ LogViewer。
的路线图
AnalytIQs职业
高端测量模块、分析和报告期间收集的数据处理。
DiagnostIQs
一组工程师分析工具对于自持系统和故障诊断是必要的,因为他们深入操作机械的电子产品。客户支持工程师在牛津仪器获得同样的工具。
PTIQ备份
这个溢价模块负责定期备份方法,配置,和过程运行数据到远程计算机。
可以用于参考目的或转换数据,准备必要的外部处理。
从图形文件升级
图片来源:牛津仪器等离子体技术
有许多可用升级方法对于那些想要更新PC2000或PTIQ PC4500操作系统。在牛津仪器软件注册的用户会立即更新完成后保证协议。
用户可以更新他们的整个网站的折扣价格与全站PTIQ升级计划,确保软件支持前进的连续性。
在PTIQ调试
有报道称PTIQ控制软件的bug被发现。所有PTIQ版本包括2021.13.02影响的问题。大多数客户将不会面临这个问题,因为它只会影响一种特定的配方编辑(在配方中使用步骤一步)。