S neox洁净室代表一个以前闻所未闻的光学计量技术的转折点。它提供了在制造业最多才多艺的设置。
四种不同的光源和一分之四技术,S neox洁净室为移动应用程序需求提供了无与伦比的适应性。
图像信用Sensofar计量
它被精心设计成ISO类1和ESD兼容。
图片来源:Sensofar计量
压电Z汽车集成是一个选择S neox洁净室,提高性能。它还包括厚度50 nm和5毫米之间。
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关注样品的表面和可积的头会自动确定最佳收购设置任何测量设备在使用3 d自动模式。app亚博体育
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客观的镜头
表1。来源:Sensofar计量
|
Brightfield |
干涉测量法 |
| 玛格 |
5倍 |
10倍 |
20 x |
50 x |
100 x |
150 x |
2.5倍 |
5倍 |
10倍 |
20 x |
50 x |
100 x |
| NA |
0.15 |
0.30 |
0.45 |
0.80 |
0.90 |
0.95 |
0.075 |
0.13 |
0.30 |
0.40 |
0.55 |
0.70 |
| WD(毫米) |
23.5 |
17.5 |
4.5 |
1.0 |
1.0 |
0.2 |
10.3 |
9.3 |
7.4 |
4.7 |
3.4 |
2.0 |
| 视场1(μm) |
3378 x
2826年 |
1689 x
1413年 |
845 x
707年 |
338 x
283年 |
169 x
141年 |
113 x
94年 |
6756 x
5652年 |
3378 x
2826年 |
1689 x
1413年 |
845 x
707年 |
338 x
283年 |
169 x
141年 |
| 空间抽样2(μm) |
1.38 |
0.69 |
0.34 |
0.13 |
0.07 |
0.05 |
2.76 |
1.38 |
0.69 |
0.34 |
0.13 |
0.07 |
| 光学分辨率3(μm) |
0.94 |
0.47 |
0.31 |
0.18 |
0.16 |
0.148 |
1.87 |
1.08 |
0.47 |
0.35 |
0.26 |
0.20 |
| 测量噪声4(nm) |
One hundred. |
30. |
8 |
5 |
3 |
1 |
PSI / ePSI 0.1(0.01纳米压电陶瓷)CSI 1 nm |
| 最大坡度5(º) |
9 |
17 |
27 |
44 |
64年 |
72年 |
4 |
7 |
17 |
24 |
33 |
44 |
系统规范
表2。来源:Sensofar计量
| 。 |
。 |
| 测量原理 |
共焦,PSI, ePSI CSI, Ai专注变异和薄膜 |
| 测量类型 |
形象,3 d、3 d厚度、形象和坐标 |
| 相机 |
5 Mpx: 2448高模像素(60 fps) |
| 共焦帧率 |
60 fps (5 Mpx);180 fps (1.2 Mpx) |
| 垂直扫描范围粗 |
线性阶段:40毫米范围;5纳米的分辨率 |
| 垂直扫描范围很好 |
压电扫描器与电容式传感器:200μm范围;1.25纳米的分辨率 |
| Max。Z测量范围 |
PSI 20μm, ePSI 10毫米,CSI 10毫米;共焦和Ai焦点变化34毫米 |
| LED光源 |
红色(630海里);绿色(530海里);蓝色(460海里)和白色(575海里;中心) |
| 鼻甲 |
6的位置完全机动 |
| 样品反射率 |
0.05%到100% |
| 先进的软件分析 |
公司:SensoVIEW;Op: SensoPRO SensoMAP |
| 通信协议 |
DLL;XML(可选) |
| 电脑 |
最新的英特尔处理器 |
| 操作系统 |
Microsoft Windows 10®,64位 |
| 电缆长度 |
3 m(5米、10米可选) |
| 环境 |
温度10ºC 35ºC;湿度< 80% RH;高度< 2000 |
年代neox洁净室传感器,最高的灵活性符合洁净室——广告
维
图片来源:Sensofar计量
1最大的视野与3/2“相机和0.5 x光学。
2像素大小。
3l s:线和空间,根据瑞利判据衍射极限的一半。空间抽样可能会限制光学分辨率干涉的目标。蓝色LED的值。
4测量噪声测量是两个连续的措施之间的差异在校准镜放置垂直于光轴。对干涉测量目标,PSI, 10个阶段平均水平。0.01 nm实现压电阶段扫描仪和温控房间。值绿色LED (CSI)白光LED。在VC-E振动环境中获得的值。
5光滑的表面。对粗糙表面86°。
6这是传感器头的重量有一个客观的炮塔。