TALYS ADP300是一种负担得起的高性能湿浴监测分析仪，可满足半导体行业的需求。
该双通道分析系统是一种最新的分析仪，适用于湿蚀刻，清洁或光孔（PR）去除过程的批处理，实时或单滤器工具监测。
TALYS ADP300系列是经过验证且著名的TALYS ASP300单渠道分析系统的演变，但具有增强的关键性能和两个同时测量。
它为FPD，半导体和太阳能电池制造提供了出色的性能，以实现严格的现代预算的理想价格。
这款负担得起的高性能湿浴显示器可以通过独特的非接触采样系统设计在过程温度下进行实时测量，从而可以实时给药和托架终端警报，而无需延迟样品调理。
功能和好处
- 同时测量两个采样点
- 一个用于测量几种化学的单个分析仪
- 所有权成本最低
- 低维护成本：光源只需要每五年更换一次
- 最小的足迹
- 独特的抽样配件（Clippir+）允许无侵入的测量和系统安装而无需修改或停止工具
灵活性和性能
该可靠的分析仪可提供标准的RCA清洁套件浴室浴室预测配置。它的灵活性允许修改浴缸配置，以监测FPD，太阳能电池和半导体制造的化学反应。
TALYS性能使设备工程师和操作员可以通过实时浴室app亚博体育组件预测最大程度地减少化学使用和游览活动。
数据
获得专利的Clippir+
ABB样品接口是一个唯一的单元格，没有润湿零件，并且易于安装。只需将其夹在现有的1˝，3⁄4˝，1⁄2˝或3⁄8˝PFA管上即可。剪子是由特氟龙制成的™并通过Teflon耦合到塔利斯™受保护的光纤电缆。浴室无法污染。
ABB的Clippir探针有助于简化安装，因为不需要关闭工具，现有的管道不需要任何修改，并且无润湿的零件采样避免了污染的风险。与滴定器相反，没有常规分析仪“零”程序，也没有试剂容器可以填充。
图片来源：ABB测量和分析
两个样品的多个化学成分
TALYS ADP300分析仪可以同时迅速测量两个样品点的多个化学分配。该工具通过Modbus TCP输出选择该工具的自动浴室可以实时选择所需的浴室化学预测常规。
在监视工具上的两个或多个浴室化学分配时，不需要更改硬件，手动干预或多个分析仪，从而在Fab上节省了大量成本。理想的结果将是一个分析仪，测量了无手动干预的SC1，SC2，BHF，BOE，DHF和ST-250的输送管，全部由工具PC控制。
监视再循环浴
图片来源：ABB测量和分析
如果技术更新需要在同一生产工具上进行新的化学反应，则可以通过电子邮件在FAB中升级TALYS。
直接监测化学用法
图片来源：ABB测量和分析