Coxem的CP-8000+是一种复杂的样品制备工具,可帮助借助氩离子束蚀刻样品的横截面。该过程可防止结构损伤和身体变形,并且不需要难以执行的化学过程。
此外,该系统通过处理从数十到几毫米的大面积来简化样品的横截面分析。
应用
机械抛光(之前)。图片来源:Coxem Co.,Ltd。
离子束抛光(之后)。图片来源:Coxem Co.,Ltd。
AR离子铣削系统。图片来源:Coxem Co.,Ltd。
聚焦离子束系统。图片来源:Coxem Co.,Ltd。
规格
资料来源:Coxem Co.,Ltd。
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使用的气体 |
AR(氩气)气体 |
铣削速度 |
700μm/h(8 kV时的Si) |
加速电压 |
2〜8 kV |
梁直径 |
大约500μm |
工作压力 |
4.3 x 10-5托尔 |
光束对齐 |
使用数字显微镜的精密光束对准 |
最大样本量 |
20(w)x 10(d)x 9(h)mm |
样品移动范围 |
(z:±2 mm,y:±2 mm) |
舞台秋千旋转 |
-35°〜 +35° |
平板铣削的阶段 |
倾斜范围:40°至80° 旋转速度:6 rpm/min 样本尺寸:Ø30x 11.4mm |
展示 |
触摸面板(1024 x 600 7英寸显示屏) |
室内摄像头 |
放大:X5,X10,X20,X40 4步亮度控制 离子光束观察模式 |
用于样品对齐的数码相机 |
放大:X5,X10,X20,X40 USB类型 |
疏散系统 |
涡轮分子泵(66 L/s) +隔膜泵 |
方面 |
610(w)x 472(d)x 415(h)mm |