新的激光FIB为ZESS交叉波束经验,Femto二维激光为超快大样本处理大样本制造大小为10微米至1毫米或更大的样本深入剖面通过像SIC这样的硬材料直接显示兴趣结构
激光连接专用机房与主仪器机房不同时,用户很容易避免FIB-SEM在激光研磨时受污染
用户从ZESS交叉波束创新LaserFIB获取下列优异条件:
-
大规模材料清除:分钟内3ms)准备极大剖面,宽深度达毫米
-
组合激光和FIB:快速存取深层离子扫描电子显微镜调查FIB-SEM
-
最小损耗:因超短激光脉冲(femtosecond激光)在一个专用机房内保持最小损耗区-无仪器沾染
大规模材料清除
慢时间准备大点样本
新的LaserFIB为ZESS交叉波束制作超大型分解分解至宽深度达毫米的完美工具激光FIB最大清除率达15moiim3s,因为Femto二维激光超短脉冲长度
高通缩率适合准备FIB与ZESS交叉波束相匹配的更多样本,LaserFIB小尺度上更高精度(100纳米-10微米)对LaserFIB补充
图片感知 CarlZeiss显微镜GmbH
组合激光和FIB
取出全部结构细节
亚博网站下载直接暴露覆盖地表下的区域,显示各种材料中所有结构特征用户用硬或软物质操作或隔热材料时,LaserFIB可快速处理准备合金微机测试或tungsten刻录
用户可能把FIB-SEM参考图片与3D数据相关联,如X光显微镜数据等,然后再激光处理返回主FIB-SEM室检验激光处理结束FIB擦亮出更多亮点
图片感知 CarlZeiss显微镜GmbH
最小损耗
行为准热化
激光FIB使用超短激光脉冲(femtosecond激光)实现准热反烧,以最小化样本损耗和受热区
消除污染并允许安全快速采样室与FIB-SEM主机室间移动,激光工作单机室完成
图片感知 CarlZeiss显微镜GmbH