S onix是一个区域干涉仪,适合工业环境由于其惊人的速度和分辨率。
- 视场(单枪)> 5.0×3.8毫米
- 收购时间3秒
- 光学分辨率< 190海里
- < 1纳米测量噪声
图片来源:Sensofar计量
前所未有的速度
S onix提供所需的速度高通量工业计量系统。高速摄影机和改进的光学和机械设计,S onix是最快的干涉系统。测量噪声保留和增强抵抗振动的好处。
图片来源:Sensofar计量
物镜
表1。来源:Sensofar计量
|
干涉 |
| 放大 |
2.5倍 |
5倍 |
10倍 |
20 x |
50 x |
100 x |
| NA |
0.075 |
0.13 |
0.30 |
0.40 |
0.55 |
0.70 |
| WD(毫米) |
10.3 |
9.3 |
7.4 |
4.7 |
3.4 |
2.0 |
| FOV1(µm) |
5040 x 3780 |
2520 x 1890 |
1260 x 945 |
630 x 472 |
252 x 189 |
126 x 94 |
| 空间抽样2(µm) |
7.88 |
3.94 |
1.97 |
0.98 |
0.39 |
0.19 |
| 光学分辨率3(µm) |
7.62 |
3.81 |
1.91 |
0.95 |
0.38 |
0.23 |
| 垂直分辨率4(nm) |
1 |
| 最大坡度5(º) |
3 |
8 |
14 |
21 |
25 |
42 |
系统规范
表2。来源:Sensofar计量
| 。 |
。 |
| 测量原理 |
CSI |
| 测量类型 |
形象,3 d和3 d厚度 |
| 相机 |
640 x 480像素 |
| 垂直扫描范围 |
线性阶段:40毫米范围;2纳米的分辨率 |
| Max。Z测量范围 |
7毫米 |
| LED光源 |
白色(575 nm)和绿色(532海里) |
| 鼻甲 |
1位置(默认)或6手动位置(可选) |
| 样品反射率 |
0.05%到100% |
| 先进的软件分析 |
公司:SensoVIEW;Op: SensoPRO SensoMAP |
| 软件沟通 |
DLL (c++和c#, Windows 10®- 64位)
XML(任何操作系统) |
| 电脑 |
最新的英特尔处理器 |
| 操作系统 |
Microsoft Windows 10®,64位 |
| 电缆长度 |
5、15或20米 |
| 环境 |
温度10ºC 35ºC;湿度< 80% RH;高度< 2000 |
1最大的视野与1/3”相机和0.375 x光学。2像素大小。3l s:线和空间,根据瑞利判据衍射极限的一半。值绿色了。空间抽样可能会限制光学分辨率。4测量噪声测量的区别两个连续测量校准镜放置垂直于光轴。在VC-E振动环境中获得的值。5光滑的表面。
维
图片来源:Sensofar计量