S Neox满足了可集成的传感器中最大的灵活性的需求，因此，这是商业上最广泛的工业系统。
- FOV（单枪）> 6.7×5.6毫米
- 收购时间3 S
- 光学分辨率<148 nm
- 系统噪声<0.01 nm
图片来源：感官计量学
高性能的极端多功能性
S Neox将多功能性推向了极端：使用4合1技术，为易变的应用需求提供前所未有的适应性，并在任何表面上具有最佳的测量灵活性。
一些算法的重新设计有助于提高所有技术的能力和速度。因此，添加压电Z电动机的选项使S Neox成为主要表演者。S Neox覆盖了50 nm至5 mm的厚度测量。
图片来源：感官计量学
物镜
表格1。资料来源：感官计量学
|
布莱特菲尔德 |
干涉法 |
| 杂志 |
5倍 |
10倍 |
20倍 |
50x |
100x |
150x |
2.5倍 |
5倍 |
10倍 |
20倍 |
50x |
100x |
| NA |
0.15 |
0.30 |
0.45 |
0.80 |
0.90 |
0.95 |
0.075 |
0.13 |
0.30 |
0.40 |
0.55 |
0.70 |
| WD（MM） |
23.5 |
17.5 |
4.5 |
1.0 |
1.0 |
0.2 |
10.3 |
9.3 |
7.4 |
4.7 |
3.4 |
2.0 |
| fov1（µm） |
3378x2826 |
1689x1413 |
845x707 |
338x283 |
169x141 |
113x94 |
6756x5652 |
3378x2826 |
1689x1413 |
845x707 |
338x283 |
169x141 |
| 空间采样2（µm） |
1.38 |
0.69 |
0.34 |
0.13 |
0.07 |
0.05 |
2.76 |
1.38 |
0.69 |
0.34 |
0.13 |
0.07 |
| 光学分辨率3（µm） |
0.94 |
0.47 |
0.31 |
0.18 |
0.16 |
0.148 |
1.87 |
1.08 |
0.47 |
0.35 |
0.26 |
0.20 |
| 系统噪音4（NM） |
100 |
30 |
8 |
5 |
3 |
1 |
PSI/EPSI 0.1 nm（带PZT的0.01 nm）CSI 1 nm |
| 最大坡度5（º） |
9 |
17 |
27 |
44 |
64 |
72 |
4 |
7 |
17 |
24 |
33 |
44 |
系统规格
表2。资料来源：感官计量学
| 。 |
。 |
| 测量原理 |
共聚焦，PSI，EPSI，CSI，AI焦点变化和薄膜 |
| 测量类型 |
图像，3D，3D厚度，轮廓和坐标 |
| 相机 |
5MPX：2448x2048像素（60 fps） |
| 共聚焦帧速率 |
60 fps（5MPX）;180 fps（1.2 MPX） |
| 垂直扫描范围粗糙 |
线性阶段：40毫米范围；5 nm分辨率 |
| 垂直扫描范围很好 |
电容传感器的压电扫描仪：200 µm范围；1.25 nm分辨率 |
| 最大限度。Z测量范围 |
PSI 20 µm;CSI 10毫米；共聚焦和AI焦点变化34毫米 |
| LED光源 |
红色（630 nm）;绿色（530 nm）;蓝色（460 nm）和白色（575 nm;中心） |
| 鼻子 |
6个位置完全电动 |
| 样品反射率 |
0.05％至100％ |
| 高级软件分析 |
Inc：Sensoview;OP：Sensopro，Sensomap |
| 软件通信 |
DLL（C ++或C＃，Windows 10®-64位）
XML（任何操作系统） |
| 电脑 |
最新的英特尔处理器 |
| 操作系统 |
Microsoft Windows 10®，64位 |
| 电缆长度 |
5或10 m |
| 环境 |
温度10ºC至35ºC;湿度<80％RH；高度<2000 m |
1使用3/2英寸相机和0.5倍光学元件的最大视野。2表面上的像素尺寸。3L＆S：线和空间，根据雷利标准的衍射极限的一半。空间采样可能会限制干预目标的光学分辨率。蓝色LED的值。4系统噪声测量为垂直于光轴的校准镜上的两个连续测量之间的差异。对于干涉测量目标，PSI，10阶段平均值。使用压电级扫描仪和温度控制的房间实现0.01 nm。绿色LED的值（CSI的白色LED）。在VC-E振动环境中获得的值。5在光滑的表面上。在粗糙的表面上最多可达86°。
方面
图片来源：感官计量学