常规的扫描电子显微镜倾向于在二维（2D）中测量和检查所有类型的样品。为了在三个维度（3D）中检查样品表面，用户需要3DSM，Zeiss的可选软件包。
用户可以借助反向散射探测器的信号来重建样品表面的完整3D模型，从而获得地形信息。
通常的用例包括配置文件高度测量。它们通常是由AFM或高质量实验室或行业研究中的AFM或探测仪进行的，例如，以快速评估烙印过程或机械表面。
两种方法都缺乏SEM提供的ROI的简单定位。应要求，可以使用具有清晰阶梯高度的校准标准来修改测量精度，以精确地适合用户的仪器。
图片来源：Carl Zeiss显微镜GmbH
图片来源：Carl Zeiss显微镜GmbH
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强调
3DSM
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用户可以对带有ASB（ASB选择性反向散射）或ABSD（ANNULAR反向散射，仅是Geminisem家族）检测器的电子显微镜检查的理想样品进行3D表面重建。
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双子座的瞬时操作和重建时间不到2秒；Sigma以序列提供图像。
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3DSM可以与SmartSem（可用于SEM的软件，用于顺序或实时3D成像的软件）结合使用，也可以在独立模式下工作以查看存档的项目文件。
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用户可以进行定期测量，例如配置文件尺寸，以及随后的3D模型直接进行的2D和3D粗糙度评估 - 只需单击几下鼠标。
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基本的“形状从阴影”算法管理重建。
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从新的正常粗糙度值（SA，RA，）和新的过滤器中获得噪声校正和波动。
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3DSM当前提供了一个新的GUI，该GUI已安排符合工作流程步骤：位置，获取和正确。
3DSM计量学
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用户可以使用可选软件包3DSM计量器来升级其Zeiss Fe-Sem，以获取自动文档和测量结果，以与ISO 25178，ASME，DIN和其他规定进行常规检查有关。
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可以在3D中检查表面，并可以生成完整的测量记录。
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可以表征表面和轮廓，例如粗糙度，步长，纳米尺度轮廓，距离，波浪和晶粒和粒径等参数。
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制定完全可追溯的计量报告。
3D定量表面模型。图片来源：Carl Zeiss显微镜GmbH