蔡司Axio成像仪碧瑶风从卡尔蔡司显微镜使用户能够检查甚至最小的MEMS传感器XXL晶片或甚至完全平planel面板显示没有破坏他们。
由于样品的高度测量多达254毫米和300毫米的横向空间,它是可能的用户分析样品的广泛Axio成像仪不一样的。
列设计提供高稳定性。用户可以控制晶片的清洁房间。机动z驱动器以及硬件自动对焦保证理想的自动设置焦点位置。
洁净室
用户可以生产半导体和检查晶片在干净的房间里。洁净室分类按照DIN EN ISO 14644 - 1,区分每m³粒子的数量和大小。yabo214Axio成像仪碧瑶风已按本标准认证,满足洁净室的需求类5。
洁净室是与类类ISO 100标准的前美联储STD 209 e (1992)。用户可以利用洁净室的装备,包括一个7 x鼻甲炮塔,打喷嚏和粒子的保护。
突出了
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用户可以受益于最优样本高度测量多达254毫米和横向样本空间300 mm x 300 mm。他们可以选择两个手册和一个电动列行业3-button-operation兼容。
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Axio成像仪与鼻甲的样品不一样的集中。这意味着用户可以实现聚焦精度高和重复性,尤其是庞大的样本。
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Axio成像仪LSM一起不一样的700,用户检查敏感样品高分辨率没有联系。
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用户可以受益于快速和准确的聚焦反射和样品硬件自动对焦,这似乎是可怜的相反。
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Axio成像仪是不同的认证按照DIN EN ISO 14644 - 1和满足需求的洁净室5类。