来自Extrel公司的VeraSpec大气压电离质谱仪(APIMS)已被设计为可重复和可靠的低万亿分之一的检测极限。这有助于控制用于高科技工业应用(如半导体和其他)的超高纯度(UHP)气体中的污染。
以下是使用VeraSpec APIMS控制超高压气体污染的主要好处:
- 独家双源电离配置，集电子冲击电离源和大气压电离源于一体，测量范围从PPT到100%无可比拟
- 多物种，实时监测关键杂质，如O2,有限公司2O, NH3., CH4、有限公司2和更多的
- 用户友好的内置用户界面，用于气体纯度的使用点可视化指示器，有效的操作和预定的自动校准
- 强大的，完善的质谱分析技术