Helios 5激光PFIB系统

来自Thermo Fisher Scientific的Helios 5激光PFIB系统使用血浆浓缩的离子束（PFIB）和飞秒激光器整合了类领先的单色ELSTAR扫描电子显微镜（SEM）柱。

这会产生具有现场消融能力的高分辨率成像和分析工具，可在纳米分辨率下提供无与伦比的材料去除速率，以快速毫米尺度表征。

统计相关的地下和3D表征

飞秒激光器能够以比标准镀耐型钳快速几个数量级的速率切割不同的材料。亚博网站下载用户可以在5分钟内创建大型（数百微米）横截面。

由于其不同的去除机制（消融与纤维的离子溅射），激光可以轻松地处理较硬的材料，例如非导电或离子梁敏感样品。亚博网站下载

高质量的大量分析

由于飞秒激光脉冲的持续时间很短，因此引入了几乎没有伪影，例如熔化，微裂纹，热撞击或典型的传统机械抛光。在大多数情况下，激光摩擦表面足以清洁直接的SEM成像，甚至用于表面敏感的方法，例如电子反向散射衍射（EBSD）映射。

该仪器是根据经过验证的Helios 5 PFIB平台开发的，包括一系列高级技术，可提供高性能，高分辨率传输电子显微镜（TEM），原子探针层析成像（APT）样品制备和非常高分辨率的SEM准备与准确的材料对比度成像。亚博网站下载

主要特征

快速材料去除

该系统的截面比传统的凝固型离子束的截面较快15,000倍。

统计相关的地下和3D数据分析

该仪器可以在较短的时间内获取更大卷的数据。

准确且可重复的切割位置

该系统具有所有三个梁（SEM/PFIB/激光器）的相同重合点，可促进精确且可重复的切割放置和3D表征。

深度地下特征的快速表征

该仪器可以提取地下TEM Lamella或块以进行3D分析。

富有挑战材料的高通量处理亚博网站下载

该仪器带有离子光束敏感或非导电样品。

空气敏感样品的快速易于表征

该系统避免需要在不同仪器之间传输样品进行成像和横截面。

分享Helios 5 PFIB平台的所有功能

该系统能够执行高质量的无炮TEM和APT样品制备和高分辨率成像。

规格

资料来源：Thermo Fisher科学 - 电子显微镜解决方案

飞秒激光器规格
激光整合	完全集成在所有3个梁（SEM/PFIB/激光器）的同一复合点中，可实现准确且可重复的切割位置和3D表征。
激光输出
第一个谐波	波长 脉冲持续时间	1030 nm（ir） <280 fs
第二个谐波	波长 脉冲持续时间	515 nm（绿色） <300 fs
光学
巧合点	工作距离= 4毫米（与SEM/FIB相同）
物镜	变量（机动）
极化	水平垂直
重复率	1 kHz - 1 MHz
位置准确性	<250 nm
保护性快门	自动SEM/PFIB保护快门
软件	激光控制软件 激光3D串行分段工作流程 激光3D串行分段工作流与EBSD 使用可选的Thermo Scientific AutoScript 4软件的激光脚本
安全	互锁的激光外壳（1类激光安全）