TOFWERK的pgaTOF质谱仪是一种灵敏的、实时的分析仪，设计用于监测和控制关键的半导体应用。
- 快速灵敏的质谱监测:TOF质量分析仪允许以亚秒刷新率的同位素质量分辨率实时监测所有过程物种
- 适用于各种半导体应用:反应堆运行状况(RHS)监控、流程优化、等离子体诊断、终点检测
- 大动态范围:所有的副产物，前体和痕量物种在半导体过程中被检测在同一时间
- 陷波滤波器技术背景降噪:可以通过抑制特定的丰富物种来控制质谱干扰
- 长期稳定:准确和可重复的反应
- 健壮的和移动:灵活，坚固的配置允许便携式非侵入性检测，并确保在不利环境中的精度
- 强大的软件:简单的控制接口和完整的文档化API用于系统集成
图片来源:TOFWERK
规范
来源:TOFWERK
|
腐蚀
耐药 |
在
任何位置 |
分辨能力
M /ΔM |
Sensivity
cps /磅 |
LOD
磅/秒 |
大小
公斤|厘米 |
| pgaTOF 2 r |
是的 |
是的 |
8000 |
> 10 |
＜1 |
160 | 148 x 48 x 62 |
| pgaTOF R |
没有* |
是的 |
4000 |
> 10 |
＜1 |
90 x 40 x 53 |
| pgaTOF S2 |
是的 |
是的 |
800 |
> 10 |
＜1 |
93 | 112 x 47 x 47 |
*耐腐蚀版本随时可用