SVT Associates'Northstar™原子层沉积（ALD）系统是用于热或能量增强ALD的多功能研究沉积工具。最多8条前体线和热壁交叉流量沉积室，可以从单个系统进行各种应用。样品介绍快速方便，快速舱口或可选的装载锁定。Northstar ALD系统可以与其他沉积和计量工具接口。进入原位计量工具和Roboald软件/系统自动化的集成会提高过程再现性。SVTA是您的经济高效原子层沉积设备的源。app亚博体育
原子层沉积系统应用：
- 高k电介质
- 纳米织物
- 表面改性层
- 腐蚀保护层
- 防潮层
- 设备封装
- MEMS.
- 光子晶体
原子层沉积设备选项：app亚博体育
- 加载锁定快速示例交换
- 等离子体组件
- 臭氧交付系统
- 剩余气体分析 - QMS
- 石英晶体沉积显示器
- 原位椭圆测量
- 转移到UHV沉积系统