的EVG6200英航债券对齐系统提供最高的灵活性,准确性,模块化升级能力和用户友好性,在几个大规模生产主管设置。EVG债券的准确性对准器适应最具挑战性的对齐过程MEMS生产和发展中3 d集成等领域的应用。
特性
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完全机动化的高分辨率底边显微镜
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适合所有EVG 200毫米债券系统
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支持债券的两倍或三倍晶片栈等多达200毫米晶圆尺寸
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手动或电动调整阶段和自动对齐选项可用
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有窗户®的用户界面
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选项
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自动对齐
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红外定位提供了内在的衬底键对齐
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NanoAlign®方案改进的过程能力
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光刻机的升级的可能性
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伴随着系统架
技术数据
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一般系统
配置 |
桌面
系统架:可选
被动隔振: |
| 对齐方法 |
背面对齐:±2µm 3σ
透明的对齐:±1µm 3σ
红外定位:选项 |
| 调整阶段 |
微米精度:手动
可选:机动微米
楔形补偿:自动化 |
衬底/晶片
参数 |
大小:2”,3”,100毫米,150毫米,200毫米
厚度:0,1 - 10毫米
Max。烟囱高度:10毫米 |
| 自动对齐 |
可选 |
| 处理系统 |
标准:3盒
可选:5台 |
来源:电动汽车集团