科学材料和应用研究工具（SMA亚博网站下载RT）平台是一种多功能沉积系统，适用于当今的薄膜沉积研究应用程序。表顶室可以包含多种沉积技术，包括热蒸发源，电子束蒸发，溅射沉积和脉冲激光沉积。超高真空沉积（UHV）配置为敏感材料提供了高纯度环境。亚博网站下载集成控制面板可最大程度地减少实验室足迹，并提供方便的过程控制。可选的过程监测技术，例如Asrheed，石英晶体监测器和残留气体分析仪，为研究人员提供了实时过程信息。可以为广泛的应用程序配置智能沉积系统：
- 薄膜沉积通过蒸发或溅射沉积
- 脉冲激光沉积
- 欧姆接触沉积和退火
- 离子束蚀刻