EVG7200自动UV nanoimprint光刻系统利用EVG的小说SmartNIL技术和EVG材料技术大规模生产的微型和纳米结构。亚博网站下载
系统帮助应用最新的软邮票和印记SmartNIL能力更大的基质和较小的几何图形,与分辨率测量40 nm *在批量生产。这允许更高的所有权成本(首席运营官)的好处和帮助实现nanoimprint光刻的完整的生产能力。
*决议是基于流程和模板
特性
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专有SmartNIL®技术与用途的聚合物可用邮票技术
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可选的顶边对齐
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Volume-proven印迹技术与优秀的复制保真度
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可选的迷你环境
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带有自动盒对盒处理以及半自动研发模式
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确保从研发到生产的可伸缩性
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demolding的可用性,结合印记,UV固化和邮票制造工作
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系统住房理想过程的稳定性和可靠性
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开放平台提供对所有商用印记材料亚博网站下载
技术数据
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| 晶圆直径(底物大小) |
75年到200毫米 |
| 决议 |
≤40 nm(分辨率依赖于模板和流程) |
| 支持过程 |
SmartNIL® |
| 暴露源 |
大功率LED(线上)> 400 mW / cm² |
| 对齐 |
可选的板面对齐 |
| 自动分离 |
支持 |
| 迷你环境和气候控制 |
可选 |
印章制作工作 |
支持 |
来源:电动汽车集团