的EVG720紫外线nanoimprint光刻系统利用EVG的小说SmartNIL技术和材料专业知识促进微型和纳米结构的大规模生产。亚博网站下载
EVG720系统可以打印纳米结构小40 nm *在一个巨大的地区低成本的所有权和无比的吞吐量。由于其SmartNIL技术,它非常适合于批量生产的新一代微流控和光子设备,如衍射光学元件。
*决议是基于流程和模板
特性
- Volume-proven印迹技术的复制保真度
- 可选的顶边对齐
- 专有SmartNIL®技术有用途的高分子邮票技术
- UV固化demolding,印记和邮票制造工作
- 确保从研发到生产的可伸缩性
- 自动化盒对盒一起处理自动化研发模式
- 带有可选的迷你环境
- 系统住房提供最优的过程的可靠性和稳定性
- 开放平台提供对所有商用印记材料亚博网站下载
技术数据
| 。 |
。 |
| 晶圆直径(底物大小) |
75年到150毫米 |
| 决议 |
≤40 nm(分辨率依赖于模板和流程) |
| 支持过程 |
SmartNIL® |
| 暴露源 |
大功率LED(线上)> 400 mW / cm² |
| 对齐 |
可选的板面对齐 |
| 自动分离 |
支持 |
| 迷你环境和气候控制 |
可选 |
| 印章制作工作 |
支持 |
来源:电动汽车集团