EVG®320 D2W:自动模具制备和激活系统

EVG320 D2W自动模具准备和激活系统是一个高度通用的平台,具有通用的硬件或软件接口,允许与第三方取放模具粘接系统进行平滑集成。此外,它还可以作为一个基于集成和线平衡需求的自主系统。

EVG最新的清洁和等离子体激活技术为该系统提供动力,并可用于其行业标准的W2W熔合和混合键合平台。该技术已经在世界各地的数百个安装模块中进行了演示。

此外,EVG320 D2W还配备了EVG的校准验证模块(AVM),这是一个内置的计量模块,可以向压合器提供关键工艺参数的直接反馈,如压合精度和模高信息,以及压合后计量,以增强工艺控制。

此外,该系统具有多功能基板处理功能,可以容纳任何类型的薄膜框架或模具载体,可以支持混合和融合粘结清洁度标准,等离子体激活和SECS/GEM标准支持。

特性

  • 配有完全自动化的foup到foup或磁带到磁带处理
  • 多达六个过程模块可用
  • 计量模块使前馈和反馈回路主机和相关的拾取和放置模具粘接系统
  • 通用的软件或硬件接口,允许与第三方取放模粘接系统的平滑集成
  • 通用模架输入,如胶片框架和定制的载体格式
  • 工业标准的清洗和激活模块,用于混合和融合键合

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