MBraun公司的薄膜沉积(TFD)蒸发器系统

MBRAUN薄膜沉积系统被设计用于大学研究,以及大规模的工业应用。我们提供标准和定制的薄膜沉积系统。

建造多层薄膜层需要纯净的大气条件(< 1ppm的氧气和水分),并且细微颗粒被快速、可靠和连续地清除。yabo214MBRAUN设计了用于多层薄膜沉积的OLED/PLED薄膜蒸发器手套箱;不干扰由物理或化学吸附引起的中间层。

MBRAUN薄膜沉积系统和元件是非常可靠的系统,在半导体器件制造应用中通常可以达到<5%的涂层均匀度。产品配置范围从独立的钟形玻璃罐到手套箱中的自动加载系统,用于大小从2英寸到300mm不等的晶圆涂层(和其他应用)。

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