这evg®150已被设计为一个完全模块化的平台，因此可以实现高通量性能和自动喷雾/自旋/开发过程。EVG®150可确保高度均匀的外套和增强的可重复性。EVG的Omnispray技术可以均匀地涂上具有较高地形的晶片，在该技术中，传统的旋转涂层面对限制。
特征
- 最多可用六个过程模块
- 晶片尺寸范围高达300毫米
- 可自定义的数字 - 最多20个烘烤或冷却或蒸气质量堆栈
- 可用的最多四个Foup负载端口或盒式加载
- EV集团的专有Omnispray®超声原子技术提供无匹配的过程发现，当
- 可用的模块包括开发，纳米涂™，旋转外套，喷雾外套，Prime/Prime/蒸气/寒冷/烘焙/
- 可选的Nanospray™模块达到300微米深图案的共形涂层，其长宽比范围为1:10和垂直侧壁
- 烘焙模块范围高达250°C
- 广泛的支撑材料亚博网站下载
- 具有双最终效应能力的高级和现场定向的机器人处理可确保持续的高通量
- 用于清洁，索诺化学处理和开发的大型技术可以提高过程效率，并将过程从小时数减少到几分钟
- 可以处理厚或超薄，精致，鞠躬或小直径的晶圆
- 流程技术卓越和开发服务提供
- 可用于自旋和喷涂，开发，烘烤和寒冷的多功能模块的适应性组合，在多个应用领域都有很大的机会
- 多用户概念（无限数量的用户帐户和配方，不同的用户界面语言以及可分配的访问权限）
- 可选的FSS（FOUP存储系统）和EFEM（设备前端模块）app亚博体育
- 智能过程控制和数据分析功能（框架SW平台）
- 过程和机器控制的组合分析功能
- 并行或排队任务处理功能
- app亚博体育设备和过程性能跟踪功能可用
- 智能处理功能可用
- 随附智能维护管理和跟踪
- 发生和警报分析
技术数据
| 。 |
。 |
| 模块的数量 |
过程模块：最多6
烘烤 /寒冷模块：最多20 |
工业自动化
特征 |
ERGO负载盒式电台 / SMIF LOADPORTS / secs / gem / foup Load端口 |
智能过程控制＆
数据分析功能
（框架SW平台） |
过程和机器控制的集成分析功能
并行任务 /排队任务处理功能
app亚博体育设备和过程性能跟踪功能
智能处理功能
发生和警报分析 /智能维护管理和跟踪 |
晶圆直径
（底物尺寸） |
最多300毫米 |
| 可用的模块 |
旋转外套 / Omnispray®/ 开发
烘烤 /寒意 |
晶圆处理
选项 |
单 /双EE /边缘处理 /晶圆翻转
鞠躬 /扭曲 /薄晶片处理 |
| 分配选项 |
各种抵抗贫困泵，可覆盖高达52000 CP的广泛粘度
液体底漆 /预润湿 /碗洗涤
边缘珠子（EBR） /后侧冲洗（BSR）
恒定压力分配系统 /注射器分配系统 |
抵抗分配
泵功能
Flowmonitoring |
可编程分配率 /可编程量 /可编程吮吸
超声波 |
附加模块
选项 |
预先安装：光学 /机械
id-Reader：条形码，alpha-numeric，数据矩阵 |
| 系统控制 |
操作系统：Windows
文件共享和备份解决方案 /无限no。食谱和参数 /离线食谱编辑器
灵活的过程流量定义 /易于拖放食谱编程
并行处理多个作业 /实时远程访问，诊断和故障排除
多语言用户
GUI和支持：CN，DE，FR，IT，JP，KR |
资料来源：EV组