新EVG®120年环球和完全自动化的抵制处理工具有能力处理一些底物的形状和大小等多达200毫米/ 8”。
EVG120可用的最新一代新的超小型设计nwewly化学内阁为外部存储的化学品开发而提供增加吞吐能力,最大化为大容量客户需求和准备使用在大批量生产(HVM)。
的EVG®120提供用户一组复杂的好处,只是没有找到任何其他工具,确保最大的质量标准在几个领域的应用程序异常低拥有成本。
特性
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晶片尺寸范围高达200毫米
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超小型设计提供至少足迹
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适应性的多功能模块组合旋转和喷涂,开发、烘烤、冷却在几个领域的应用提供了巨大的机会
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两层或开发室和10热或冷却板可用
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化学内阁用于外部存储的化学物质
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CoverSpin™抵抗旋转封面提供低消耗和提高抵抗涂层均匀性
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电动汽车集团自营OmniSpray®超声雾化技术提供了无比的结果保形涂层的极端地形而言
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Megasonic技术可用于清洗、sono-chemical处理和发展提高过程效率和减少处理时间从数小时到几分钟
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卓越工艺和发展提供服务
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高级和战地机器人末端执行器处理双重功能保证恒定的高吞吐量
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多用户的概念(分配访问权限,不同的用户界面语言和无限数量的用户帐户和食谱)
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智能过程控制和数据分析功能(SW框架平台)
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结合分析过程和机器控制特性
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并行或排队任务处理功能
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安装和过程性能跟踪功能可用
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伴随着智能处理功能
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智能维修管理和跟踪是可能的
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事件和报警分析可用
技术数据
| 。 |
。 |
| 可用的模块 |
旋转外套/ OmniSpray®/开发
烘烤/冷却 |
| 晶圆处理选项 |
单/双EE /边缘处理/晶片翻转
鞠躬/扭曲/细晶片处理 |
智能过程控制和
数据分析功能
(框架SW平台) |
综合分析过程和机器控制特性
并行任务/排队任务处理功能
app亚博体育设备和过程性能跟踪特性
智能处理功能
事件和警报分析/智能维修管理和跟踪 |
晶圆直径
(底物大小) |
200毫米 |
| 模块数量 |
流程模块:2
烘烤/冷却模块:10 |
工业自动化
特性 |
因此加载磁带站/ SMIF loadports /秒/珠宝/ FOUP负载端口 |
| 分发选项 |
各种抵制分配泵覆盖广泛的粘度52000 cP
液体启动/ pre-wet /洗碗
除边缘珠(EBR) /后侧冲洗(BSR)
恒压/注射器分发系统分发系统 |
抵制分配泵
功能流监控 |
可编程的分配率/可编程卷/可编程吸回
超声波 |
额外的模块
选项 |
Pre-alignment:光学/机械
ID-reader:条形码、字母数字、数据矩阵 |
| 系统控制 |
操作系统:Windows
文件共享和备份解决方案/无限。配方和参数/离线配方编辑器
灵活的流程定义/简单的拖拽配方编程
并行处理多个作业/实时远程访问、诊断和故障排除
多语言用户界面和支持:CN、德、FR,摩根大通,KR |
来源:电动汽车集团