Covap系列为许多过程应用提供了紧凑，经济但仍然坚固的解决方案。为实验室设计，需要安全可靠的工具，该工具在紧凑的足迹中生产可重复的高质量薄膜。
Covap是根据我们的高质量标准建造的，可提供闭环共沉积控制，食谱存储和独特的矩形蛤s-shell室，以提高可访问性（即使与可选的手套箱集成在一起）。
隔离沉积源以减少热效应和交叉污染，并配备完整的可移动室屏蔽，以确保可以轻松清洁和维护腔室。腔室打开时，源和阶段的功率以及气动压力也被切割，以确保最高水平的安全性。
Covap具有智能设计的控制接口，使新用户可以迅速成为独立运营商。智能设计的控制允许多层，顺序或共沉积，所有这些都具有出色的重复性。底物固定装置可在室内提供多达100mm x 100mm的样品，该腔室通过涡轮分子泵获得高真空，并可以容纳2或4个耐热源。所有这些都在紧凑的600mm x 1000mm系统足迹中。
Covap得到了由行业中最响应迅速的支持团队支持的为期1年的保修，并由Angstrom Engineerings 8小时的客户响应保证为基础。
Covap可能很小，但很强大。
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在我使用的所有系统中，您的系统是迄今为止最可靠，一致且易于使用的系统。
马克·巴尔多博士 - 麻省理工学院