通过向FIB-SEM显微镜添加聚焦离子束二次离子质谱（FIB-SIMS）能力，FIBTOF可以实现具有纳米分辨率的化学品的3D敏感成像。
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允许敏感检测光元素，如氢，氟，锂和硼
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使得所有元素的3D化学成像具有深度分析分辨率小于10nm，横向分辨率小于50nm
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可与领先的商业fib-sem显微镜一起使用，而不会影响图像的质量
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允许具有增加的质量分辨能力的明确元素识别
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使同位素成像用于分析扩散，运输或反应机制的实验
推进FIB-SIM，没有妥协
FIBTOF将3D化学成像添加到FIB-SEM显微镜中
二次离子质谱或SIMS是一种经过验证的方法，其中能量离子束用于样品溅射，导致带电粒子（二次离子）和中性颗粒的喷射。yabo214
质量分析仪用于测量溅射离子，提供有关样本的化学数据。当在样本上扫描适当的精细的主离子束时，SIMS技术提供了卓越的横向分辨率和高深度分辨率（二次离子仅来自样品表面）。
图像信用：TOFWERK.
通过向FIB-SEM显微镜添加FIBTOF功能，可以在不影响EDX / SEM测量的情况下使用特殊的成像性能进行SIMS测量。FIBTOF的飞行时间分析仪总是实现完整的质谱，使得可以在数据后处理期间可视化任何目标离子。
斐波特的规格
FIBTOF可以与领先的商业上可获得的FIB-SEM显微镜一起使用，而不会影响图像质量。
资料来源：TOFWERK.
肿块解决权力
m /Δmfwhm |
质量范围（TH） |
检测极限 |
横向空间分辨率* |
深度分辨率* |
| > 700. |
1 - 500. |
PPM. |
50 nm. |
10 nm. |
*基于聚焦离子的性能光束。