Voyager - 丹顿真空的灵活PECVD平台

加入Voyager到Denton真空的沉积平台提供薄膜专家，其能够沉积先前难以产生的各种薄膜由于部分的几何形状或所需的扩展沉积周期。Voyager利用了丹顿真空开发的经过验证的硬件配置。结果是由建立的控制支持的强大的机械包，以便于操作和直观的配方建设。

Voyager旨在满足薄膜行业对保形涂层的要求，低温加工和高质量均匀性，在方便的平台上提供等离子增强的化学气相沉积。

PECVD方法的益处包括无限的沉积材料来源和在膜中产生限定应力的能力。