用于UHV腔室的等离子体DE-污染物:EVACTRON®U50

Evactron U50等离子体De-Coloraminator是一种紧凑的简单等离子体清洁剂,具有高性能适用于在UHV条件下工作的室内和仪器。U50提供高功率清洁,以消除样品和腔室表面上的碳氢化合物污染。

Evactron U50 De-Contaminator已经设计了选择使用有线触摸板接口来编程清洁参数的设施。RS-232电缆用于连接触摸板(尺寸为134×112×69 mm)。

具有紧凑的占地面积,简化的PRS利用UV余辉和空气等离子体来最小化烃污染,快速提供结果。

Evactron U50等离子源(PR)的设计紧凑,使其成为样品预备室,装载锁或仪器室的通用解决方案。Evactron U50在广泛的压力范围内提供有效,快速且稳健的清洁,从而促进了快速的向下增加时间和无UHV和无碳氢化合物RGA光谱。

具有有线触摸板控制的等离子体去污染物:Evactron®U50

图像信用:Evactron(XEI Scientific)

具有有线触摸板控制的等离子体去污染物:Evactron®U50

图像信用:Evactron(XEI Scientific)

系统特色

  • RF功率为75 W峰值,连续高达50 W
  • 用等离子体和紫外线清洗双动作清洁
  • 节能射频空心阴极等离子体(RFHC)
  • UHV兼容性由Conflat 2.75法兰确保
  • 食谱,电源,循环次数和清洁时间是可编程的
  • TETHERED TOUCHPAD命令通信模块
  • 广泛的压力操作:0.3 PA / 2 MTORR至80 PA / 600 MTORR
  • 可以烤到150°C
  • TMP兼容,无需进展通风
  • 快速清洁 - 比上一代Evactron型号快100倍以上
  • 零溅射蚀刻避免敏感组件损坏
  • 泄漏测试到<10-11托或10.-11mbar(1.3e.-9PA)
  • 按钮清洁操作
  • 等离子体点火不需要匹配或气体流量调节
  • 符合CE,NRTL,ROHS,SEMI和TUV

Evactron U50系统规格

  • evactron u50等离子体源
  • 硬件互锁
  • 带按钮操作的桌面控制器
  • 100-240 VAC 50/60 Hz输入
  • 系列触摸板通信包
  • RF Power-35至75瓦,在13.56 MHz RFHC
  • 底盘尺寸-W×H×D:17.2“×3.5”×8.6“(44×8.9×22cm)
  • 符合CE,NRTL,ROHS,SEMI和TUV

此供应商的其app亚博体育他设备