特高压设计公司开发的晶圆翻转器可以支持不同系统方向之间的转换，要求晶圆翻转180°。
该设计采用磁耦合三轴传递臂，从而提供旋转和线性运动与特殊的样品夹持机构。这使得晶片可以用内置的弹簧机构紧紧地夹住，以防止过度压缩。样品的旋转和线性运动是通过一个行程长度从304到1219毫米的单一驱动器获得的。
夹持器是通过单独旋转外部顶针的后部来驱动的。
关键特性
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低负载下零间隙
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独立的旋转和直线运动与特殊的夹持系统
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无与伦比的140 N轴向耦合强度提供安全传输
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可以烘烤到250°C而不需要移除任何组件
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内置弹簧防止夹持晶圆片时过度压缩
图片来源:特高压设计有限公司