Quali-Stream®:用于IC基板和高级PCB制造的湿法工艺化学控制器

Quali-Stream®来自ECI技术的在线分析仪允许在制造复杂的IC和PCB基板的制造过程中更严格地控​​制湿表面处理过程。

Quali-Stream®分析仪自动量化湿表面处理罐中的组件,并通过FAB和/或工艺工具将数据与FAB和/或工艺工具转移,以改善补充和过程控制。

通过基于用户电镀解决方案选择许多分析技术,可以延长各种浓度控制。

控制蚀刻速率

可选的自动化采样,分析和补充解决方案:

  • 化学镀铜溶液分析仪(Cu,Hcho和NaOH)
  • desmear(naoh和mno4的)
  • 镍电镀溶液(适用于瓦浴)(H3.3,pH,Cl和Ni)
  • 镍电镀溶液(氨基酸浴)(H.3.3,pH,Cl和Ni)
  • 镀金溶液(Au和pH)
  • 催化剂液体(PD)
  • 开发人员和清洁解决方案(NaOH)
  • 加工液(AU)
  • 传导处理液体分析仪(Cu)
  • 无电镀PD-电镀溶液(PD)

控制器紧凑,可以执行类似于全尺寸,更高级别的Quali-Fill的若干功能®天秤座化学监测和管理系统可从ECI技术获得。

主要特点

自动分析

Quali-Stream®分析仪样品化学溶液并研究化学溶液的浓度。由可选的外部数据通信网络或USB发送所得到的数据。

使用ECI技术的专有软件估计数据,并将处理解决方案的浓度校正为预设值。分析细胞和传感器被清洁并阅读以允许开始随后的样品分析。

计量学

对众多流程工具和化学物质的计量支持包括以下内容

  • ph
  • 光谱法
  • 滴定
  • 密度计
  • 表面张力
  • 电导率

关键好处

  • 特别是为最新的基板设计,并且对于每个分析 - AiPFlip芯片(ABF材料),RF,SIP,PCB和IC基板市场进行快速且极低的成本
  • 通过直接采样或再循环线进行处理解决方案
  • 有助于技术开发,减少过程解决方案,降低成本和降低劳动力成本,用于分析和补充
  • 降低化学用途,增加性能优异(再现性和精度)
  • ECI技术是一个具有现场验证技术的领导者,其集成在用户的生产线上简单集成

Quali-Stream®:用于IC基板和高级PCB制造的湿法工艺化学控制器

图像信用:ECI技术

技术规格

  • AC:110至264 Vac 50/60 Hz,15 A
  • 尺寸:673(26.5“)宽度x 840.7(33.1)高度x 342.6 mm(13.5”)深度
  • 安全互锁可用
  • 数据通信:多种通信协议,如串行,RS-232,TCP / IP和SEC / GEM
  • 可选的批量补充
  • 符合标准:CE,NFPA 79和SEMIS2-S8(可选)

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