现有工艺对3D叠加和精密晶体管的需求都需要湿工艺控制，超出了以前设备的能力。app亚博体育通过缩小到MOL和BEOL多层膜，需要的选择性化学沉积步骤的数量增加了。
从研发到大规模制造的快速推出意味着湿化学沉积设备应该是可扩展的，精确的和经济的。app亚博体育
的QUALISURF®该系列分析仪是完全自动化的在线、内联和台式化学监测系统，可配置为复杂的蚀刻和清洗应用，以精确控制金属化溶液的成分，如亚ppm水平的污染物和添加剂。
QUALISURF平台具有灵活的架构，有助于将不同的方法安装在一起，以有条不紊地执行过程控制，例如:
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合格的入厂湿化学
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工厂和生产车间的化学品质量控制
- 先进的清洁化学品与多种物种
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可以支持多种过程工具
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流程解决方案可以被跟踪和优化以实现重用
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用户可以回收或回收化学物质，以实现高效的过程，并实现环境和可持续发展的目标
QUALISURF分析仪的应用指南
来源:ECI技术
模型 |
过程 |
应用程序 |
好处 |
qsf - 100 |
BEOL |
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qsf - 200 |
BEOL |
- 清洁和蚀刻PERR
- W联系人穗青葱
- 锡硬膜去除
- AlOx / HMO清洗
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- 所有关键部件的连续测量
- 可重复使用化学品
- H性能优异2O2
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qsf - 200 |
FEOL |
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qsf - 300 |
亚博网站下载材料质量 控制/设施
和浪费
管理 |
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- 在先进的设计节点，合格的入厂化学品对管理成本、产量和可靠性至关重要
- 严格控制DSP+混合浓度
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qsf - 500 |
FEOL |
- 热磷酸选择性硅蚀刻3.阿宝4)沟隔离
- 间距和变薄
- 位线
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qsf - 600 - i |
CMP后
过程 |
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qsf - 800 |
摩尔 BEOL |
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qsf - 900 |
FEOL |
- 各向异性腐蚀(TMAH)
- 如果腐蚀
- 锗硅
- 棉酚
- 多晶硅腐蚀
- 光刻胶带，去除和返工
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- 多组分用近红外测量，<5分钟。每柜
- 优异的选择性硅腐蚀
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QSF -
借此宣传 |
先进的包装 |
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QSF -
W200 |
先进的包装 |
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关键特性
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使光谱集成和通信与所有过程工具和Fab主机的闭环控制
- 使用基于配方的测量和数据分析，输出和可视化结果，导出多种数据格式
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为每种化学物质提供大量的循环管路支持
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提供全面的历史和当前状态的坦克，也显示SPC数据，而不中断自动分析序列
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使溶液回收;减少浪费，从而降低成本
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化学成分和物种的自动控制和分析
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罐摘要包括每个工艺室的分析数据，以及标准数据
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分析的频率可以由用户定义，并基于分析技术和化学
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独特的，低维护电极和几个集成的自动化程序，允许简单的诊断，维护和故障排除
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为了便于结果比较，还提供单独的SPC告警信息历史记录和按时间顺序的告警信息历史记录
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许多报警指示器提醒操作人员有关罐或仪器的问题
关键好处
过程改进
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快速表征和分析过程浴化学使快速反应和精馏的过程条件。通过了解定量的工艺组成，产品收率也会提高。
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建立95%的可靠性，MTBF超过1000小时*
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一个完全自动化的系统利用可编程配方精确控制。这些配方包括延迟、样品提取、成分补充和清洗生产线的步骤，从而提供更多的工艺知识和更严格的工艺控制的精度。
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使溶液回收;减少浪费，降低成本。
多才多艺的
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大量的化学和工艺工具，如检测来料化学原料供应的变化，被取样和分析
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模块化设计实现了灵活的配置，从而提高了工艺的一致性和再现性
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多通道能力支持一个过程工具的所有坦克
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可配置为子fab设置
用户友好的
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灵活的软件提供了许多查看选项
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软件使过程控制容易报警设置，状态条件，和在线帮助
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减少了预防性维护要求，降低了消耗品的成本，可以随时进行现场维护服务
*化学依赖
技术规格
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交流:180至245 VAC 50/60 Hz和15 A
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外形尺寸:762(30″)宽× 1822(71.75″)高× 610(24″)深
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大容量填充:干接点
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安全连锁装置
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符合标准:CE, NFPA 79, SEMIS2-S8和SEMI F47
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数据通信:多种通信协议，如Serial、RS-232、TCP/IP、SECS/GEM等