ECI Technology拥有超过15年的加药经验，能够提供优质的剂量®系统提供最新颖和全面的解决方案，用于处理现有先进包装应用中的化学物质。
QUALI-DOSE系统与QUALI-FILL相结合®来自ECI Technology的分析仪创建了一个全面的在线化学品管理系统，该系统是促进严格化学过程控制的最强大工具。
QUALI-DOSE系统使用智能、多功能的算法和模式对油箱进行补充、补充或放气和加注。QUALI-DOSE系统采用快速、高效的加药方式，不会产生废物，无需定期维护。
由于该系统可以提供精确的剂量，并验证所有关键组件，用户可以享受无与伦比的便利性和可靠性，以运行其电镀工艺。
主要特征
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可根据以下情况提供灵活的剂量选择：
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晶圆计数
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分析结果
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油箱液位
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安培/分钟
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目标或其他成分的浓度水平
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基于时间的
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所有关键成分都可以添加：
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去离子水
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无机物
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有机物
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进料和排气（可选）
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处女化妆液（VMS）
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自动标准生成（ASG）*
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避免频繁的化学品处理和混合
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避免购买高成本标准的产品
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将CoO、劳动力和维护降至最低
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自动验证积极反馈，确认每次交付
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符合行业安全标准的工程：CE SEMI和S2/S8
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支持多个槽、电镀工具和化学品
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任何组件的手动模式
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可与ECI QUALI-FILL结合使用®分析仪或单独使用
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包括NOWPak®试剂输送系统
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可与加压和自动化中心化学品散装和混合系统相结合
*化学依赖
主要好处
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多次交付验证
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精确度<3%
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支持多个油箱
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流量范围广泛，从20毫升/分钟到5000毫升/分钟
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独立控制或运行的分析仪
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多种加药模式：目标剂量、手动、前馈、反馈、基于时间、安培/小时、晶片计数等。
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条形码自动验证消除了人为错误
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为新浴池化妆和补充提供的配方
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任何数量的成分都可以添加
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处理槽倾卸或出血和进料
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直接从加压化学品散装（中央化学品分配系统）投加的能力
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通过缓冲罐、滑流或直接注入方法进行集成
使用ECI QUALI-DOSE系统时，过程可变性较小
使用替代加药器时，工艺变化更大
图片来源：ECI科技
技术规格
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尺寸-1829毫米（72英寸）宽x 2061毫米（81.1英寸）高x 610毫米（24.0英寸）深
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符合标准：CE、SEMI F47、SEMI S2-S8、NFPA 79
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数据通信多种通信协议，如SECS/GEM、串行、RS-232和TCP/IP
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AC-180至245伏交流电压，50/60赫兹，15安