使用金属钨作为晶体管接触先进节点性能的障碍是因为gapfill和阻力。由于其能力来填补相当薄的小功能障碍,钴(有限公司)提供了内在优良的电阻在小尺寸。
ECI技术的全自动QUALI-LINE®广达电脑在线化学计量有限公司互联金属化过程包括CVS电化学技术结合电位和光谱滴定的方法来找到无机和有机成分的浓度和最大程度的精密度和准确度。
QUALI-LINE广达的总分析时间小于22分钟化学的基础上,与一个标准的准确性和RSD为规范Co和硼酸的2%和2%,分别。
系统可以确保准确性和pH值为0.01的价值观和提供一个< 0.01 pH值与一个窄窗口过程。标准电导率精度和相对标准偏差分别为3%和2%,分别。有机添加剂,典型的规范的准确性和RSD为3.5%和2%。
关键特性
- 一个分析仪健康监测器在需要时通知维修的需要
- 一个标准自动生成器确保了精确的校准和验证、可重复的和准确的标准代替昂贵的预混标准
- 系统内置监控泄漏探测器触发紧急停堆过程当有泄漏
- 一个浴健康监测器是一个专门的模块专门为污染物的分析,设计分解产物和浴老化
- 系统使用ECI的大规模公司ChemPacks图书馆应用程序
- 四镀坦克可以由系统监控
关键好处
- 支持传统,高、低Co浓度化学大批量制造和研发;用户可以系统可以很容易地将系统分析各种化学反应
- 加强对先进的通过填充和槽结构
- 可以方便地结合最先进的电镀工具吗
- 符合严格的公差要求成功的每一层沉积
- Precision-crafted、低维护的组件
超过25年,QUALI-LINE®化学监测系统一直处于行业的前沿时铜波纹的过程的分析和控制。钴的QUALI-LINE分析仪是现在在他们的第二代,包括扩展功能。自2015年系统的《盗梦空间》,ECI卖出了50多个单位。
配置为满足用户的需求
内阁是由FM4910-compliant材料。亚博网站下载四个主要部分是系统提供的隔离化学处理部分从电子产品。
图片来源:ECI技术
技术规格
- NOWPak®试剂提供了交付系统
- 维- 762毫米(30)W x 2061毫米(81.1“)H x 610毫米(24)D
- Exhaust-4“OD化学废气
- ac - 180年至245年休假,50/60 Hz, 15一个
- 遵从standards-CE、半F-47、半S2-S8 nfpa - 79
- 数据communication-Multiple通信协议:以太网/ RJ45端口支持秒/宝石,rs - 232和TCP / IP与工厂的主人