在半导体应用中，大马士革铜工艺在互连线的制造中起着至关重要的作用。半导体行业面临的挑战是成本、产量的提高和竞争性的规模。
为了保证高效和成功的生产，铜工艺的可靠和准确的在线计量是至关重要的，因为互连线的特征尺寸会不断收缩。
的QUALI-LINE®PRIMÅ化学监测系统由ECI技术提供，可用于半导体器件的精确电镀。该系统专为大批量生产环境而开发，具有最大的可靠性、最快的分析时间和最严格的控制。
qual- line PRIMÅ功能CVS电化学技术以及光谱和电位滴定技术，以找到无机和有机成分的浓度与最优的精度和准确度。
基于化学，QUALI-LINE PRIMÅ可以在30分钟的时间内提供高达2%和3%的有机分析的重复性/准确性。在需要快速酸和铜分析的特定应用情况下，该系统在每个周期7分钟内提供铜和酸分析结果。
关键特性
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一个浴健康监测器是否有专门开发用于浴槽老化、分析污染物和分解产品的模块
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一个分析仪健康监测器需要维护时提示
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一个标准自动生成器提供了一个可重复和准确的标准，精确的校准和验证，从而作为一个替代成本密集的预混合标准
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该系统使用Cu ChemPacks的扩展库进行工作®由ECI技术提供的应用
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内置泄漏检测器监测系统，并触发紧急关闭过程时，泄漏检测
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该系统能够监测多达四个电镀槽
关键好处
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按照严格的公差规范工作，确保每一层的成功沉积
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改进了复杂的填充和沟槽结构
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支持常规，超低和高铜浓度化学物质;用户可以很容易地转换系统来分析不同的铜化学成分
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低维护，精密制作的组件
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易于与最先进的电镀工具结合
QUALI-LINE®化学监测系统在分析和控制大马士革铜过程方面已经站在行业的前沿超过25年。专为铜设计的QUALI-LINE分析仪现在已经进入第六代，并具有扩展功能。自1996年推出该系统以来，ECI已售出1000多台该系统。
配置为满足用户需求
机柜采用符合fm4910标准的材料建造。亚博网站下载该系统包括四个主要部分，隔离电子和化学处理部分。
图片来源:ECI技术公司
技术规格
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包括NOWPak®试剂输送系统
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尺寸- 965mm(38″)W x 2162mm(85.1″)H x 610mm(24″)D
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exhaust - 4″外径化学废气
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AC-180至245 VAC, 50/60 Hz, 15 A
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符合ce、SEMI F-47、SEMI S2-S8、NFPA-79、KRWA等标准
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数据通信-多种通信协议:以太网/RJ45端口支持SECS/GEM, RS-232和TCP/IP与fab的主机