TESCAN的NanoSpace是一种用户友好、多用途的系统，特别适合在超高真空(UHV)条件下工作。
纳米空间系统可以配置为扫描电子显微镜(SEM)或集成了高性能聚焦离子束(FIB)和扫描电子显微镜(SEM)的双束平台。
特高压仪器具有模块化设计，能够根据终端用户的特殊要求和目标实现广泛的FIB和SEM色谱柱。它还为表面分析和需要最严格无污染环境的样品的FIB纳米加工提供了最优的、完整的和定制的解决方案。
NanoSpace甚至可以安装一个特高压兼容的气体注入系统(GIS)，用于选择蚀刻和局部金属沉积。
此外，还可以通过特高压中间腔与第三方系统(如表面分析仪器和MBE簇)进行现场连接。这种连接性扩展了NanoSpace仪器的应用范围。
关键好处
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完全可定制的系统
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全特高压设计，无污染环境
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开发用于进行高质量的表面分析
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精确的采样控制
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高分辨率成像
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特高压连接可用
- 完全自动化的仪器