evactron.®25型Zephyr是一种等离子体清洁剂，用于在真空室和电子显微镜中出于原位清洁腔室和样品。
evactron.®等离子体清洁剂包括双真空模式，使得具有扩散泵或涡轮泵真空系统的显微镜的TMP或粗加工泵操作。
对于所有清洁要求，evactron®25型Zephyr具有固态的微丙烷规格。台式控制器/ RF发生器，具有自动RF /压力水平控制，RF等离子空心阴极自由基源（PRS），手动，电缆和5年的有限保修。
系统特色
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完全可调点火和操作压力
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使用紫外余辉和等离子体进行双动作清洁
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Pirani测量仪用于跟踪室真空
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在抽空期间打开，这对于扩散和涡轮泵操作是安全的
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不会造成敏感组件的损坏 - 没有溅射蚀刻
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小型桌面控制器，具有简单的OneButton操作
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符合SEMI，NRTL，CE和TUV标准
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可编程电源，周期数和清洁时间
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有限保修五年
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室内空气用作用于低运营成本和易用性的气体源
Evactron的规格®25型Zephyr系统
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RF发电机是谐波抑制和稳定的
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RF功率范围在13.56 MHz的10至20 W之间
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使用室内空气来生产氧气自由基
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包括KF 40真空安装法兰
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配有真空安全联锁
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固定RF匹配安装在RF馈通上
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MKS MicroPirani换能器能够真空测量
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串行接口，故障显示，读数和日志
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用于压力和流量调节的伺服控制空气流血阀
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LED：电源，等离子，射频打开，启用开关和故障;LCD可用于行显示
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电子底盘高度×宽×深度：5.5“×9.5”×9.5“（14×24.1×24.1厘米）
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包括100至240 VAC，50/60 Hz输入和150 W.
图像信用：Evactron（XEI Scientific）
图像信用：Evactron（XEI Scientific）