evactron的简单等离子体软链条（EPSC）®整合evactron.®20EP远程等离子体去污染物与evactron®软夹室，由此制作用户友好的台式等离子体清洁器和室。
它可以用作标本储存系统，其在无污染周围保持样品。通过使用室内空气作为源气体，20EP等离子体产生活性氧自由基，有效地消除了来自支架，样品表面和样品支架的碳氢化合物污染。
EPSC系统配有三个用于TEM样本棒的清洁端口，提供顶部装载盖子，用于SEM样品。清洁端口位于中心位置，从而使所有TEM杆的均匀和并发清洁。
可选的，专利的Safar TEM侧装载机（专利US 8,676 B2,716）包括侧入槽和锁定机构，锁定机构避免腔室平台和样品杆之间的任何不期望的接触，当TEM杆插入并移除时。
系统特色
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配有节能空心阴极等离子源
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用UV余辉和等离子体进行双动清洗
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可以编程电源，清洁时间和周期数
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室内真空传感器和读数可提供
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小型台式控制器，提供清洁配方的显示器
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固定输入空气流量
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广泛的压力操作：0.75托和22毫托或100Pa和3 pa
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快速清洁，与前一代Evactron型号相比，60倍更快
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操作日志存储在内存中
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符合TUV，NRTL，SEMI和CE
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敏感组件没有损坏 - 没有溅射蚀刻
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等离子体点火不需要气体流量调节或手动匹配
Evactron EPSC系统的规格
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Evactron 20ep等离子体清洁器可提供桌面控制器
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最多三个TEM阶段杆
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可选的Safar侧装载机，可用于固定的TEM棒和样品（美国专利8,716,676 B2）
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KF 40真空安装法兰
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用于氧自由基生产的环境空气
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100-240 VAC 50/60 Hz输入
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真空安全互锁可用
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电子底盘：W×H×D：17“×3.4”×6.7“（43×8.6×17厘米）
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RF Power：13.56 MHz的10至20 W
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软夹尺寸：D×H：8.5“×7.2”（21.6×18.3厘米）