EVACTRON的ES去污染者是专为TESCAN离子和电子束仪器而设计的高性能，紧凑，但精简的等离子体清洁剂，如FIB和SEM。
Evactron ES De-Coloraminator可以容易地清洁，提供更高的对比度成像和分辨率，并且还提高受污染影响的探针和探测器的敏感性。
Evactron ES等离子源极具有紧凑的设计，使其成为负载锁，FIB / SEM腔室或样品制备室的多功能解决方案。Evactron ES等离子体清洁剂在广泛的压力范围内提供快速，有效和温和的清洁，允许无伪影，高质量的图像以及提高样品分析效率。
系统特色
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节能射频空心阴极等离子体
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通过等离子体和紫外线清洗双动作
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RF Power-10至20 W，13.56 MHz
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宽范围的压力操作-1 torr至22 mtorr，或133 pa至3 pa
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Tescan GUI提供可编程的电源，清洁时间
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高真空'流行'点火
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确保快速清洁比上一代Evactron版本快60倍以上
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与TMP兼容，不需要预先通风
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真空安全联锁和外部互锁连接（可选）
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按下按钮清洁操作
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可以在装载锁定或SEM室上设置PRS
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敏感部件没有损坏，因为没有溅射蚀刻
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等离子体点火不需要匹配或气体流动修改
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符合NRTL，TUV，CE，SEMI和ROHS标准
对于高真空，FIB，SEM和其他分析系统，专门开发了Evactron ES等离子体去污染物。流线型的Evactron等离子体自由基源（PRS）具有小的占地面积，并使用空气等离子体来减少碳氢化合物污染，提供快速有效的结果。
Evactron ES系统的规格
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包括2U机架安装控制器，用于系统集成
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FIB / SEM主机定向控件
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紧凑型等离子激进源（PRS）
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硬件互锁（可选）
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提供100至240 Vac和50/60 Hz输入
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RF Power-10至20 W，13.56 MHz CCP
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符合NRTL，TUV，CE，SEMI和ROHS标准