可从Evactron获得的E50可用污染物是用于离子和电子束仪器的高性能，紧凑，但精简的等离子清洁剂，如FIB，TEMS和SEM。
E50去污染者可实现高功率清洁，以实现出色的成像和分辨率，并且还提供了通常受污染影响的改进的探针和探测器敏感性。
Evactron E50等离子体源极（PRS）具有紧凑的设计，它使其成为样品制备室，FIB或SEM腔室的多功能溶液，或者装载锁。
Evactron E50去污染者在广泛的压力范围内提供快速，有效和稳健的清洁，允许无伪影，高质量的图像，以及提高样品分析效率。
系统特色
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节能射频空心阴极等离子体（RFHC）
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血浆和UV余辉允许双动清洁
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RF Power-75 W Peak，连续高达50 W
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有线触摸板编程或蓝牙android平板电脑
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可编程电源，食谱，周期数和清洁时间
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高真空'流行'点火
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TMP兼容，不需要提前通风
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外部互锁连接（可选）
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广泛的压力操作-0.3 PA / 2 MTORR至80 PA / 600 MTORR
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可以在装载锁定或SEM室上设置PRS
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不会损坏敏感组件 - 没有溅射蚀刻
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允许快速清洁比上一代Evactron模型快100倍以上
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等离子体点火需要匹配或气体流动变化
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按下按钮清洁操作
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符合NRTL，TUV，CE和SEMI标准
Evactron E50.
已经开发出与无线平板电脑编程，Evactron E50等离子体脱污染仪消除了从高真空室（如FIB）和SEM的碳氢化合物污染。
Evactron E50等离子体De-Coloraminator的紧凑设计适用于大多数型号的载荷锁和FIB和SEM腔室。Evactron E50还使用UV余辉和空气等离子体来快速降低碳氢化合物污染。
Evactron E50系统的规格
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硬件互锁
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蓝牙通信包/ Android平板电脑
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桌面控制器配备按钮操作
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提供100-240 VAC 50/60 Hz输入
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RF Power-35至75 W，13.56 MHz RFHC
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底盘尺寸宽×高度×深度= 17.2“×3.5”×8.6“（44×8.9×22cm）
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符合RoHS兼容
Evactron E50 E-TC
Evactron E50 E-TC等离子体去污染物专门用于需要有线触摸板接口以进行编程目的的设施。
触摸板测量（134×112×69 mm）通过RS-232电缆连接到控制器。流线型的PRS具有小的占地面积，并使用UV余辉和空气等离子体来降低烃污染，从而提供即时结果。
Evactron E50 E-TC系统的规格
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硬件互锁
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系列触摸板通信包
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桌面控制器配有按钮操作
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提供100-240 VAC 50/60 Hz输入
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RF Power-35至75 W，13.56 MHz RFHC
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底盘尺寸宽×高度×深度：17.2“×3.5”×8.6“（44×8.9×22厘米）