环境科学公司推出了一种新产品——水蒸汽气体标准发生器——它已经在该领域使用了超过25年。
该单位已设计，以生产可重复和精确的水分气体标准，以用户的确切规格。
无源系统是标准配置。该单位是根据用户的应用程序所需的流量和浓度定制的。如果需要，该系统可以容纳多个渗透炉和多个质量流量控制器，使用户能够实现他们所需的完整范围。
单个MFC流量范围从10SCCM到20LPM是标准的，但更高的流量也可用。为了提高机组的功能，水蒸汽气体标准发生器也可以添加到Environics S4040气体稀释或S4000气体混合系统。重量和占地面积根据用户的需要而不同。
标准装置包括沿气路的压缩接头和弹性体密封。作为一种选择，硅衬里的气路也提供减少吸收。在非常低的湿度标准的情况下，Environics使用一个双重方法来改善单位建设。
首先，使用金属密封以避免环境水分的进入，当使用弹性体密封时，环境水分会影响输出。其次，电抛光气路接头采用轨道焊接，减少吸收，防止泄漏。
此外，所有的输入和输出都是VCR配件，额外保证了用户生成标准的完整性。而不是，或除了这些选项，底盘可以用干燥的惰性气体(通常是氮)不断清洗。对于那些设施中有丰富的氮源的人来说，这个选择是经济的。
该系统高度可靠，确保渗透烤箱温度在0.1°C内的稳定性和精度。温度范围从室温到150°C。
Environics的质量流量控制器技术确保稀释流量精确到设定值的+/−1%，将其设置在仅精确到满量程的模拟设备之上。app亚博体育此外，单水平稀释意味着这种精度是持续的用户的整个范围。与所有系统一样，这些单元是NIST可追踪的。
图片来源:Environics Inc.