检查与RGA系列中的过程中或在容器中演变的成分

Hiden Analytical提供的残余气体分析仪（RGA）为泄漏检测，污染监测和目标物种的分析（例如水蒸气）在真空室内提供了一个独家窗口。

HIDEN残留气体分析仪本质上是四头质谱仪，已在各种产品中配置，以处理科学，技术和真空处理中的应用。亚博老虎机网登录

Hiden残留的气体分析仪还配备了直观和多层软件，可为新手用户提供简单的故障安全*操作，同时为真空专家集成了各种各样的复杂且有用的功能。

*板上安全功能包括对检测器和灯丝进行内部测量以及外部过压设备的连接的过压保护。

经常检查的真空残差

氢-该气体在质量2处进行量化，并且在UHV应用中特别感兴趣，在UHV应用中，超出气候可能是实现最终真空的限制因素。

氦-该气体在质量4处进行量化，并用作搜索气体以进行泄漏检测。Hiden残留气体分析仪具有专门的泄漏检测模式，可快速响应氦气。

水蒸气-这是在质量18处进行量化的，是最具挑战性的残留物，可泵送到UHV水平，但长期不泵送或烘烤真空室。

氮和氧气 -这些分别在质量数28和32处进行量化，并确定更多的峰值确认质量数为14和16。测量“空气峰”的相当信号通常是腔室泄漏的第一个指示。

碳氢化合物 -在质量扫描中的许多质量中对此进行了研究，通常可以以41和43、55、57、69和71的质量数量检测到这一点，而烷烃和烯烃为15。RGA广泛的大规模扫描具有高灵敏度，使用户能够获得有关腔室污染水平的深入信息。

挥发性有机化合物-这些在物种特异性质量中进行了量化，例如乙醇的质量31，异丙醇为45，苯78，甲苯为91。Hiden Analytical的RGA使用实时数据显示检查这些物种，为真空使用者提供了有关关键真空残留物的局部压力的即时和更新的数据。

信息用于常规泄漏检测，真空室监测，尖端研究以及分析真空过程。

RGA系列

所有来自HIDEN分析的剩余气体分析仪均已测试用于应用并进行校准以提供最大的质量性能。分析仪得到了为期三年的保修和终身服务的支持。

• 真空炉监视
• 真空诊断
• 真空过程分析
• 泄漏检测
• 反应性溅射闭环控制
• 污染分析
• UHV TPD
• UHV/XHV表面科学亚博老虎机网登录
• 半导体生产
• 分子束研究

Hiden RGA系列包括三个规范级别

• HAL/3F - 用于分析应用的三重滤波器质谱仪
• 光晕 - 用于残余气体分析
• HAL/3F PIC - 快速事件研究的块离子计数检测

光晕100 rc。图片来源：Hiden Analytical

HAL/3F。图片来源：Hiden Analytical

HAL/3F图片。图片来源：Hiden Analytical

关键功能/选项

• 每秒最多650次测量的超快速数据获取
• 质量范围选项-50、100、200、30和510 AMU
• 实时背景减去
• 多种离子源和裹尸布选项
• 带有双倦怠氧化物的虹膜细丝
• 整体群众图书馆
• 高敏性氦泄漏检测和可选搜索气体的质量可供选择
• 复杂气体解释的复杂分析能力

剩余气体分析的光晕

Halo 201 RC。图片来源：Hiden Analytical

光晕分析仪和RF负责人。图片来源：Hiden Analytical

• 泄漏检测
• 真空指纹 - 组织图和峰值轮廓扫描
• 趋势分析 - 可以实时监控80多种二压值的多种物种
• 除去基线漂移和零爆炸 - 可以比较并分析Vacuum室残留气体和蒸气物种

检测器选项：

• 仅法拉第和法拉第/电子乘数

对：

• 电子乘数 -检测到2 x 10^-13MBAR
• 法拉第 -检测到1 x 10^-11MBAR

最高的工作压力：

• 1 x 10^-4MBAR

Hiden对氦气的敏感性是典型分析仪的5倍，提供出色的泄漏检测性能。图片来源：Hiden Analytical

*根据已发表的相对灵敏度数据的参考。

特征

• 检测器选项 - 法拉第或法拉第和电子乘数
• 质量范围选项-100、200和300 AMU
• 自动DESAT™模式即使存在饱和信号，也可以进行高速扫描
• 自动化电子束快门EBS™改善了噪声的抑制
• 由PC Windows控制

HAL/3F - 用于分析应用的三重滤波器质谱仪

三重过滤器组件。图片来源：Hiden Analytical

HAL/3F分析仪和RF头。图片来源：Hiden Analytical

3F性能包括对高质量物种的敏感性增强和分辨率提高。图片来源：Hiden Analytical

• 分子束测量，气体分析和XHV/UHV研究的应用特异性电离源
• 三重质量滤波器技术，具有高灵敏度，具有丰富的灵敏度和对污染的耐药性的提高

质量范围选项：

• 50、200、300和510 AMU
• 1000系列质量范围选项最多5000 AMU

检测极限：

• 单通道电子乘数 - 2 x 10^-14MBAR
• 法拉第检测器-1x10^-11MBAR

最高操作压力：

• 2 x 10^-4MBAR

特征

• 检测器 - Faraday和单渠道电子乘数
• 质量范围选项-50、200、300和510 AMU
• 自动DESAT™模式即使存在饱和信号，也可以进行高速扫描
• 自动化电子束快门EBS™改善了噪声的抑制
• 完全控制场轴电势 - 离子能，电子能量和离子源发射

HAL/3F PIC-快速事件研究的脉冲离子计数检测的三滤波器质谱仪

• 七个十年的连续测量从1 c/s到10⁷CS
• 脉冲离子计数检测用于瞬态气体分析和快速事件研究，例如UHV TPD
• 包括具有50-ns时间分辨率的多通道缩放器检测器选项

质量范围选项：

• 脉冲离子计数检测器小于5 x 10的检测极限^-15MBAR
• 50、300和510 AMU
• 1000系列质量范围选项最多5000 AMU

最高操作压力：

• 1 x 10^-4带有法拉第选项的MBAR
• 5 x 10^-6MBAR

PPM/PPB级别的高质量瞬态数据采集。UHV TPD的理想选择。图片来源：Hiden Analytical

HAL/3F图片。图片来源：Hiden Analytical

HAL/3F PIC分析仪和RF。图片来源：Hiden Analytical

特征

• 每秒超过650次测量
• 七十年动态范围
• 脉冲研究的信号门控
• 检测到<5 x 10^-15MBAR
• PCA模式 - 预测性计数积累模式大大延长了电子乘数的寿命
• 多通道缩放器选项，时间分辨率为50 ns

Hiden Analytical创建了许多不同类型的离子源，可以容纳整个RGA范围。离子源的类型对于RGA的性能很重要，并补充说，指定用户所需的来源类型的潜力确保Hiden Analytical的RGA对特定应用程序进行自定义配置。