SEC的纳米聚焦X射线检测系统配备了分辨率为200纳米的纳米聚焦管，专门用于半导体封装和晶圆级封装（WLP），需要检测亚微米缺陷。
NF120（200纳米分辨率）X射线检测系统
该系统通过一个防振台精确地移动轴，可以精确地跟踪和检测受损区域。
在整个斜角CT/锥束CT中都可以使用晶圆凸点自动检测。
特征
- 晶圆级封装无损分析系统
- 双CTs高分辨率图像
- 应用处理器，RAM，封装芯片，晶圆级
规格
来源：SEC
*选项：晶圆台、探测器更换/附加安装
**选项：用于晶圆的EFEM安装，AXI程序
图片来源：SEC