离子溅射涂布机允许在高真空模式下成像非导电样品的最高分辨率成像。溅射镀膜器通过在测试样品上涂上几纳米厚的金或铂金属薄膜来增加电导率。更高的电导率增加了二次电子的生成量，并产生更高分辨率的图像。
mcm - 100 p:快速模式
mcm - 200:触摸PAD -高级模式
*快速简便的镀膜方式(启动按钮→自动真空→等离子镀膜→排气)
*样品装载尺寸-最大50mm
*目标材料- Au(金)，Pt(铂)
*实时显示当前值
*时间设置为用户想要
*尽量减少小型真空泵的安装位置
*当前，真空设置/保存食谱功能
规范
来源:证券交易委员会
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mcm - 100 |
mcm - 200 |
| 目标材料 |
盟,Pt |
| 目标电极尺寸 |
Φ50毫米 |
| 室的大小 |
Φ120毫米x 65毫米 |
Φ130毫米x110毫米 |
| 样表的大小 |
Φ50毫米 |
| Electrode-Sample表时间间隔 |
35毫米 |
| 维 |
180 (W) x 310 (D) x 310 (H) / 15公斤 |
505 (W) x 310 (D) x 250 (H) / 10公斤 |